Контроль геометричних розмірів зондів для атомно-силової мікроскопії інформаційно-вимірювальною системою

Автор(и)

  • Максим Олександрович Маркін Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», пр. Перемоги, 37, Київ, Україна, 03056, Україна
  • Ольга Миколаївна Маркіна Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», пр. Перемоги, 37, Київ, Україна, 03056, Україна
  • Сергій Миколайович Кущовий Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», пр. Перемоги, 37, Київ, Україна, 03056, Україна
  • Катерина Олександрівна Бутенко Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», пр. Перемоги, 37, Київ, Україна, 03056, Україна

Ключові слова:

контроль, інформаційно-вимірювальна система, геометричні розміри, атомно-силова мікроскопія, зонд атомно-силового мікроскопа, контраст, штрихова міра, дефект

Анотація

В роботі описано принцип побудови інформаційно-вимірювальної системи, яка основана на базі оптичного мікроскопу й передавальної камери типу Novus NVC-130BH а також її налаштувань, визначення характеристик та їх робочих діапазонів. Експериментальні дослідження визначення геометричних розмірів та дефектів зондів атомного-силового мікроскопу NanoEducator (виробник NT-MDT Spectrum Instruments Ltd) інформаційно-вимірювальною системою показали, що розмір дефектів у виготовлених зондах становить 1 мкм.

Біографії авторів

Максим Олександрович Маркін, Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», пр. Перемоги, 37, Київ, Україна, 03056

Кандидат технічних наук, доцент,

Кафедра наукових, аналітичних та екологічних приладів і систем

Ольга Миколаївна Маркіна, Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», пр. Перемоги, 37, Київ, Україна, 03056

Кандидат технічних наук, асистент,

Кафедра наукових, аналітичних та екологічних приладів і систем

Сергій Миколайович Кущовий, Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», пр. Перемоги, 37, Київ, Україна, 03056

Аспірант, 

Кафедра наукових, аналітичних та екологічних приладів і систем

Катерина Олександрівна Бутенко, Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», пр. Перемоги, 37, Київ, Україна, 03056

Аспірант,

Кафедра біоінформатики

Посилання

Mironov, V. L. (2004). Osnovy skanirujushhej zondovoj mikroskopii. Nizhnij Novgorod: Institut fiziki mikrostruktur, 110.

Giessibl, F. J. (2003). Advances in atomic force microscopy. Reviews of Modern Physics, 75 (3), 949–983. doi: 10.1103/revmodphys.75.949

Eibl, R. H., Moy, V. T. (2005). Atomic Force Microscopy Measurements of Protein–Ligand Interactions on Living Cells. Protein-Ligand Interactions, 439–450. doi: 10.1385/1-59259-912-5:439

Markin, M. O., Kushchovyi, S. M. (2015). Osoblyvosti vyznachennia kontrastu pry formuvanni zobrazhennia televiziinoiu informatsiino-vymiriuvalnoiu systemoiu. FYZYKA/2. Optyka, Available at: http://www.rusnauka.com/22_APSN_2015/Phisica/7_196388.doc.htm

Markin, M. O., Markina, O. M., Ahinskyi, Iu. A. (2013).Vyznachennia heometrychnykh rozmiriv mikroob’iektiv za dopomohoiu televiziinykh vymiriuvalnykh system. Visnyk Natsionalnoho tekhnichnoho universytetu Ukrainy "Kyivskyi politekhnichnyi instytut". Seriia Pryladobuduvannia, 46, 64–70.

Markina, O. M., Synhaivska, O. I., Maslov, V. P., Kachur, N. V. (2014). Vplyv poverkhni ob’iekta na vymiriuvannia heometrychnykh rozmiriv tsyfrovoiu optychnoiu mikroskopiieiu. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 6 (5 (72)), 59–64. doi: 10.15587/2313-8416.2014.31948

Markina, O. N. (2015). Issledovanie osobennostej ispol'zovanija galogennyh lamp JC v televizionnoj izmeritel'noj sisteme. Sborka v mashinostroenii, priborostroenii, 5, 6–8.

Markin, M. O., Markina, O. M. (2009). Otsinka pokhybky vymiriuvannia heometrychnykh parametriv za dopomohoiu televiziinykh informatsiino-vymiriuvalnykh system. Visnyk NTUU "KPI". Seriia pryladobuduvannia, 38, 102–106.

Markina, O. M., Kachur, N. V., Maslov, V. P. (2014). Pat. No. 95615, UA. Sposib vyznachennia heometrychnykh rozmiriv mikromasshtabnykh prozorykh ob’iektiv. MPK G01N 15/10. № u 2014 08497; declareted: 25.07.2014; published: 25.12.2014, Bul. No. 24, 4.

Poriev, V. A., Poriev, H. V., Kisil, R. I. (2002). Imovirnosnyi pidkhid do vyznachennia rozdilnoi zdatnosti televiziinykh zasobiv kontroliu. Metody ta prylady kontroliu yakosti, 8, 40–43.

##submission.downloads##

Опубліковано

2017-04-24

Номер

Том 50 (2016)

Розділ

Автоматизація та управління механіко-технологічними системами та комплексами

Ліцензія

Авторське право (c) 2017 Максим Олександрович Маркін, Ольга Миколаївна Маркіна, Сергій Миколайович Кущовий, Катерина Олександрівна Бутенко

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.