Контроль геометричних розмірів зондів для атомно-силової мікроскопії інформаційно-вимірювальною системою

Максим Олександрович Маркін, Ольга Миколаївна Маркіна, Сергій Миколайович Кущовий, Катерина Олександрівна Бутенко

Анотація


В роботі описано принцип побудови інформаційно-вимірювальної системи, яка основана на базі оптичного мікроскопу й передавальної камери типу Novus NVC-130BH а також її налаштувань, визначення характеристик та їх робочих діапазонів. Експериментальні дослідження визначення геометричних розмірів та дефектів зондів атомного-силового мікроскопу NanoEducator (виробник NT-MDT Spectrum Instruments Ltd) інформаційно-вимірювальною системою показали, що розмір дефектів у виготовлених зондах становить 1 мкм.


Ключові слова


контроль; інформаційно-вимірювальна система; геометричні розміри; атомно-силова мікроскопія; зонд атомно-силового мікроскопа; контраст; штрихова міра; дефект

Повний текст:

PDF

Посилання


Mironov, V. L. (2004). Osnovy skanirujushhej zondovoj mikroskopii. Nizhnij Novgorod: Institut fiziki mikrostruktur, 110.

Giessibl, F. J. (2003). Advances in atomic force microscopy. Reviews of Modern Physics, 75 (3), 949–983. doi: 10.1103/revmodphys.75.949

Eibl, R. H., Moy, V. T. (2005). Atomic Force Microscopy Measurements of Protein–Ligand Interactions on Living Cells. Protein-Ligand Interactions, 439–450. doi: 10.1385/1-59259-912-5:439

Markin, M. O., Kushchovyi, S. M. (2015). Osoblyvosti vyznachennia kontrastu pry formuvanni zobrazhennia televiziinoiu informatsiino-vymiriuvalnoiu systemoiu. FYZYKA/2. Optyka, Available at: http://www.rusnauka.com/22_APSN_2015/Phisica/7_196388.doc.htm

Markin, M. O., Markina, O. M., Ahinskyi, Iu. A. (2013).Vyznachennia heometrychnykh rozmiriv mikroob’iektiv za dopomohoiu televiziinykh vymiriuvalnykh system. Visnyk Natsionalnoho tekhnichnoho universytetu Ukrainy "Kyivskyi politekhnichnyi instytut". Seriia Pryladobuduvannia, 46, 64–70.

Markina, O. M., Synhaivska, O. I., Maslov, V. P., Kachur, N. V. (2014). Vplyv poverkhni ob’iekta na vymiriuvannia heometrychnykh rozmiriv tsyfrovoiu optychnoiu mikroskopiieiu. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 6 (5 (72)), 59–64. doi: 10.15587/2313-8416.2014.31948

Markina, O. N. (2015). Issledovanie osobennostej ispol'zovanija galogennyh lamp JC v televizionnoj izmeritel'noj sisteme. Sborka v mashinostroenii, priborostroenii, 5, 6–8.

Markin, M. O., Markina, O. M. (2009). Otsinka pokhybky vymiriuvannia heometrychnykh parametriv za dopomohoiu televiziinykh informatsiino-vymiriuvalnykh system. Visnyk NTUU "KPI". Seriia pryladobuduvannia, 38, 102–106.

Markina, O. M., Kachur, N. V., Maslov, V. P. (2014). Pat. No. 95615, UA. Sposib vyznachennia heometrychnykh rozmiriv mikromasshtabnykh prozorykh ob’iektiv. MPK G01N 15/10. № u 2014 08497; declareted: 25.07.2014; published: 25.12.2014, Bul. No. 24, 4.

Poriev, V. A., Poriev, H. V., Kisil, R. I. (2002). Imovirnosnyi pidkhid do vyznachennia rozdilnoi zdatnosti televiziinykh zasobiv kontroliu. Metody ta prylady kontroliu yakosti, 8, 40–43.


Пристатейна бібліографія ГОСТ


Миронов, В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии [Текст] / В. Л. Миронов. – Нижний Новгород: Институт физики микроструктур, 2004. – 110 с.

Giessibl, F. J. Advances in Atomic Force Microscopy [Text] / F. J. Giessibl / Reviews of Modern Physics. – 2003. – No. 75 (3). – P. 949–983. doi: 10.1103/revmodphys.75.949

Eibl, R. H. Atomic Force Microscopy Measurements of Protein–Ligand Interactions on Living Cells [Text] / R. H. Eibl, V. T.Moy / Protein-Ligand Interactions. – 2005. – P. 439–450. doi: 10.1385/1-59259-912-5:439

Маркін, М. О. Особливості визначення контрасту при формуванні зображення телевізійною інформаційно-вимірювальною системою [Електронний ресурс] / М. О. Маркін, С. М. Кущовий // ФИЗИКА/2. Оптика – 2015 – Режим доступу: http://www.rusnauka.com/22_APSN_2015/Phisica/7_196388.doc.htm

Маркін, М. О. Визначення геометричних розмірів мікрооб’єктів за допомогою телевізійних вимірювальних систем [Текст] / М. О. Маркін, О. М. Маркіна, Ю. А. Агінський / Вісник Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут". Серія Приладобудування. – 2013. – № 46. – С. 64–70

Маркіна, О. М. Вплив поверхні об’єкта на вимірювання геометричних розмірів цифровою оптичною мікроскопією [Текст] / О. М. Маркіна, О. І. Сингаївська, В. П. Маслов, Н. В. Качур // Восточно-европейский журнал передовых технологий. – 2014. – № 6/5 (72). – С. 59–64. doi: 10.15587/2313-8416.2014.31948

Маркина, О. Н. Исследование особенностей использования галогенных ламп JC в телевизионной измерительной системе [Текст] / О. Н. Маркина // Сборка в машиностроении, приборостроении, – 2015. – № 5. – С. 6–8.

Маркін, М. О. Оцінка похибки вимірювання геометричних параметрів за допомогою телевізійних інформаційно-вимірювальних систем [Текст] / М. О. Маркін, О. М. Маркіна // Вісник НТУУ "КПІ". Серія приладобудування. – 2009. – № 38. – С. 102–106.

Пат. № 95615, UA. Спосіб визначення геометричних розмірів мікромасштабних прозорих об’єктів. МПК G01N 15/10 [Текст] / Маркіна О. М., Качур Н. В., Маслов В. П.; заявники Маркіна О. М., Качур Н. В., Маслов В. П. – № u 2014 08497, заявл. 25.07.2014; опубл. 25.12.2014, Бюл. № 24. – 4 с.

Порєв, В. А. Імовірносний підхід до визначення роздільної здатності телевізійних засобів контролю [Текст] / В. А. Порєв, Г. В. Порєв, Р. І. Кісіль // Методи та прилади контролю якості. – 2002. – № 8. – С. 40–43.



Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.




Copyright (c) 2017 Максим Олександрович Маркін, Ольга Миколаївна Маркіна, Сергій Миколайович Кущовий, Катерина Олександрівна Бутенко

Creative Commons License
Ця робота ліцензована Creative Commons Attribution 4.0 International License.

ISSN 2411-2828 (Online), ISSN 2411-2798 (Print)