Розрахунок механічних напружень на основі вимірювань двопроменезаломлення у звукопроводах ПАХ-пристроїв

Остап Олегович Олійник, Микола Федорович Жовнір, Борис Архипович Циганок

Анотація


В статі приведені результати дослідження внутрішніх механічних напружень в п’єзокристалі LiNbO3 YZ-зрізу, а також приповерхневих механічних напружень, які виникають у звукопроводах після напилення зустрічноштирьових перетворювачів (ЗШП) при виготовленні пристроїв на поверхневих акустичних хвилях (ПАХ). Виміряний розподіл величини двопроменезаломлення з використанням методу модуляційної поляриметрії та розрахована на його основі відносна анізотропія механічних напружень у звукопроводі. Результати досліджень фотопружних властивостей звукопроводів демонструють високу чутливість модуляційно-поляризаційного методу вимірювання для контролю якості п’єзокристалів та виявлення залишкових приповерхневих механічних напружень після напилення ЗШП.


Ключові слова


механічні напруження; фотопружність; звукопровід; ПАХ-пристрої; модуляційна поляриметрія; ніобат літію; лінія затримки.

Повний текст:

PDF

Посилання


Zhovnir, M. F., Oliinyk, O. O., Pysarenko, L. D. (2016). Mathematical Models of Pressure and Microdisplacement Sensors Based on Electric Field Perturbation of the Surface Acoustic Waves. Journal of Nano- and Electronic Physics, 8 (1), 01024–1–01024–5. doi:10.21272/jnep.8(1).01024

Burkov, S. I. (2016). Influence of external statistical effects on the propagation of elastic waves in piezoelectric crystals and layered structures. Siberian Federal University, Krasnoyarsk, 274.

Guk, N. A., Stepanova, N. I. (2016). Identification of the geometry and elastic properties of rigid inclusions in thin plate. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 2(7(80)), 4–9. doi: 10.15587/1729-4061.2016.64395

Zhovnir, M. F., Oliinyk, O. O. (2015). Development of SAW devices for measuring linear and angular displacements. Part 1. Mechanical engineering systems and complexes, 52 (1161), 60–65.

Serdega, B. K. (2013). Polarization-modulation method of determining the absolute values of mechanical stresses in sapphire optical windows. Bulletin National Technical University of Ukraine «Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute». Series: Instrument, 45, 82–90.

Matyash, I. E., Minaylova, I. A., Mischuk, O. N., Oliinyk, O. O., Serdega, B. K., Tsyganok, B. A. (2014). Detection of stresses induced by heat flux in a solid by using a photoelastic microscope. Electronics and communications, 19, 2 (79), 9–22.

Beketov, H. V., Klymov, O. S., Matiash, I. Ye., Oberemok, Ye. A., Rudenko, S. P. (2013). Fizychni osnovy poliarymetrii vysokoi informatyvnoi zdatnosti. Kiev: NTUU «KPI», 249.

Atuchyn, V. V. (2009). Zavsymost pokazatelei prelomlenyia nyobata lytyia ot khymycheskoho sostava krystala. Vesnyk SybHUTY, 3, 39–45.

Cordero‐Montalvo, C., Vedam, K. (1981). Piezo‐ and thermo‐optic behavior of LiTaO3. Journal of Applied Physics, 52 (2), 944–947. doi: 10.1063/1.328782

Narasymhamurty, T. S. (1984). Photoelastic and electro-optical properties of crystals. Moscow: Myr, 623.

Shapovalov, V. A. (2010). Spyn-volnovoi rezonans y eho poverkhnostnaia moda v plenke manhalyta. Fyzyka i tekhnyka vysokykh davlenyi, 20 (1), 56–61.

Suslikov, L. M. (1988). New method for measuring dispersion of birefringence in anisotropic crystals. Scientific Bulletin of the Uzhgorod University. Series: Physics, 2, 134–136.

Serdega, B. K. (2011). Modulation polarimetry. Kiev: Naukova Dumka, 237.


Пристатейна бібліографія ГОСТ


Zhovnir, M. F. Mathematical Models of Pressure and Microdisplacement Sensors Based on Electric Field Perturbation of the Surface Acoustic Waves [Text] / M. F. Zhovnir, O. O. Oliinyk, L. D. Pysarenko // Journal of Nano- and Electronic Physics. – 2016. – № 8 (1). – P. 01024–1–01024–5. doi:10.21272/jnep.8(1).01024

Бурков, С. И. Влияние внешних статистических воздействий на распространение упругих волн в пьезокристаллах и слоистых струкутрах [Текст]: дис. докт. физ.-мат. наук: 01.04.03 / С. И. Бурков. – Сибирский федеральный университет. – Красноярск, 2016. – 274 с.

Гук, Н. А. Идентификация геометрических параметров упругих свойств жестких включений в тонкой пластине [Текст] / Н. А. Гук, Н. И. Степанова // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. – 2016. – № 2/7 (80). – С. 4–9. doi: 10.15587/1729-4061.2016.64395

Жовнір, М. Ф. Розробка пристроїв на ПАХ для вимірювання лінійних та кутових переміщень. Частина 1 [Текст]: зб. наук. пр / М. Ф. Жовнір, О. О. Олійник // Вісник НТУ "ХПІ". Серія: Механіко-технологічні системи та комплекси. – 2015. – № 52 (1161). – С. 60–65.

Сердега, Б. К. Поляризаційно-модуляційна методика визначення абсолютних значень механічних напружень у сапфірових оптичних вікнах [Текст] / Б. К. Сердега, І. Є. Матяш, В. П. Маслов, Н. В. Качур // Вісник Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут". Серія: Приладобудування. – 2013. – Вип. 45. – С. 82–90.

Matyash, I. E. Detection of stresses induced by heat flux in a solid by using a photoelastic microscope [Text] / I. E. Matyash, I. A. Minaylova, O. N. Mischuk, O. O. Oliinyk, B. K. Serdega, B. A. Tsyganok // Electronics and communications. – 2014. – Vol. 19, № 2 (79). – P. 9–22.

Бекетов, Г. В. Фізичні основи поляриметрії високої інформативної здатності [Текст]: монографія / Г. В. Бекетов, О. С. Климов, І. Є. Матяш, Є. А. Оберемок, С. П. Руденко. – Київ: НТУУ «КПІ», 2013. – 249 с.

Атучин, В. В. Завсимость показателей преломления ниобата лития от химического состава кристала [Текст] / В. В. Атучин // Весник СибГУТИ. – 2009. – №3. – С. 39–45.

Cordero-Montalvo, C. Piezo and thermooptic behavior of LiTaO3 [Text] / C. Cordero Montalvo, K. Vedam // Journal of Applied Physics. – 1981. – № 52 (2). – P. 944–947. doi: 10.1063/1.328782

Нарасимхамурти, Т. С. Фотоупругие и электрооптические свойства кристаллов [Текст] / Т. С. Нарасимхамурти. – Москва: Мир, 1984. – 623 с.

Шаповалов, В. А. Спин-волновой резонанс и его поверхностная мода в пленке мангалита [Текст] / В. А. Шаповалов // Физика и техника высоких давлений. – 2010. – Т. 20, № 1. – С. 56–61.

Сусліков, Л. М. Новий метод вимірювання дисперсії двопроменезаломлення анізотропних кристалів [Текст] / Л. М. Сусліков, З. П. Гадьмаші, С. В. Кун, Є. Ю. Переш // Науковий вісник Ужгородського університету. Серія: Фізика. – 1998. – Вип. 2. – C. 134–136.

Сердега, Б. К. Модуляційна поляриметрія [Текст] / Б. К. Сердега. – Київ: Наукова думка, 2011. – 237 с.



Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.




Copyright (c) 2017 Остап Олегович Олійник, Микола Федорович Жовнір, Борис Архипович Циганок

Creative Commons License
Ця робота ліцензована Creative Commons Attribution 4.0 International License.

ISSN 2411-2828 (Online), ISSN 2411-2798 (Print)