Розрахунок механічних напружень на основі вимірювань двопроменезаломлення у звукопроводах ПАХ-пристроїв
Ключові слова:
механічні напруження, фотопружність, звукопровід, ПАХ-пристрої, модуляційна поляриметрія, ніобат літію, лінія затримки.Анотація
В статі приведені результати дослідження внутрішніх механічних напружень в п’єзокристалі LiNbO3 YZ-зрізу, а також приповерхневих механічних напружень, які виникають у звукопроводах після напилення зустрічноштирьових перетворювачів (ЗШП) при виготовленні пристроїв на поверхневих акустичних хвилях (ПАХ). Виміряний розподіл величини двопроменезаломлення з використанням методу модуляційної поляриметрії та розрахована на його основі відносна анізотропія механічних напружень у звукопроводі. Результати досліджень фотопружних властивостей звукопроводів демонструють високу чутливість модуляційно-поляризаційного методу вимірювання для контролю якості п’єзокристалів та виявлення залишкових приповерхневих механічних напружень після напилення ЗШП.
Посилання
Zhovnir, M. F., Oliinyk, O. O., Pysarenko, L. D. (2016). Mathematical Models of Pressure and Microdisplacement Sensors Based on Electric Field Perturbation of the Surface Acoustic Waves. Journal of Nano- and Electronic Physics, 8 (1), 01024–1–01024–5. doi:10.21272/jnep.8(1).01024
Burkov, S. I. (2016). Influence of external statistical effects on the propagation of elastic waves in piezoelectric crystals and layered structures. Siberian Federal University, Krasnoyarsk, 274.
Guk, N. A., Stepanova, N. I. (2016). Identification of the geometry and elastic properties of rigid inclusions in thin plate. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 2(7(80)), 4–9. doi: 10.15587/1729-4061.2016.64395
Zhovnir, M. F., Oliinyk, O. O. (2015). Development of SAW devices for measuring linear and angular displacements. Part 1. Mechanical engineering systems and complexes, 52 (1161), 60–65.
Serdega, B. K. (2013). Polarization-modulation method of determining the absolute values of mechanical stresses in sapphire optical windows. Bulletin National Technical University of Ukraine «Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute». Series: Instrument, 45, 82–90.
Matyash, I. E., Minaylova, I. A., Mischuk, O. N., Oliinyk, O. O., Serdega, B. K., Tsyganok, B. A. (2014). Detection of stresses induced by heat flux in a solid by using a photoelastic microscope. Electronics and communications, 19, 2 (79), 9–22.
Beketov, H. V., Klymov, O. S., Matiash, I. Ye., Oberemok, Ye. A., Rudenko, S. P. (2013). Fizychni osnovy poliarymetrii vysokoi informatyvnoi zdatnosti. Kiev: NTUU «KPI», 249.
Atuchyn, V. V. (2009). Zavsymost pokazatelei prelomlenyia nyobata lytyia ot khymycheskoho sostava krystala. Vesnyk SybHUTY, 3, 39–45.
Cordero‐Montalvo, C., Vedam, K. (1981). Piezo‐ and thermo‐optic behavior of LiTaO3. Journal of Applied Physics, 52 (2), 944–947. doi: 10.1063/1.328782
Narasymhamurty, T. S. (1984). Photoelastic and electro-optical properties of crystals. Moscow: Myr, 623.
Shapovalov, V. A. (2010). Spyn-volnovoi rezonans y eho poverkhnostnaia moda v plenke manhalyta. Fyzyka i tekhnyka vysokykh davlenyi, 20 (1), 56–61.
Suslikov, L. M. (1988). New method for measuring dispersion of birefringence in anisotropic crystals. Scientific Bulletin of the Uzhgorod University. Series: Physics, 2, 134–136.
Serdega, B. K. (2011). Modulation polarimetry. Kiev: Naukova Dumka, 237.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2017 Остап Олегович Олійник, Микола Федорович Жовнір, Борис Архипович Циганок
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
