Модуляційно-поляризаційний метод вимірювання внутрішніх механічних напружень в мікроелектронних структурах Si-Al

Автор(и)

  • Остап Олегович Олійник Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут», вул. Політехнічна, 16, корпус №12. Київ, Україна, 03056, Україна

Ключові слова:

модуляційна поляриметрія, механічні напруження в кремнії, механічні напруження в Si-Al

Анотація

В роботі описується дослідження мікроелектронного сенсора тиску, роль мембрани якого виконує кремнієва пластина з напиленими на неї алюмінієвими провідниками та тензорезистором. Показано, що в початковому стані на поверхні мембрани існує розподіл механічних напружень, який спричинений геометрією сенсора, а також є наслідком напилення алюмінієвих провідників та тензорезистора. Приведені результати теоретичних досліджень, на відмінну від існуючих ідеалізованих, дозволяють безпосередньо вимірювати та розраховувати початкові параметри механічних напружень кремнієвих структур, а не приймати їх значення за нуль, що дозволяє поліпшити, таким чином, метрологічні параметри сенсорів.

Біографія автора

Остап Олегович Олійник, Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут», вул. Політехнічна, 16, корпус №12. Київ, Україна, 03056

Аспірант

Кафедра Електронних приладів та пристроїв, факультет електроніки

Посилання

1. Astashenkova, O., Korlyakov, A. (2013) Kontrol fiziko-mekhanicheskikh parametrov tonkikh plenok. Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, 2, 24–29.

2. Tamulevicius, S. (1998) Stress and strain in the vacuum deposited thin films // Vacuum, 51(2), 127-139.

3. Mekhanicheskiye napryazheniya v tonkikh plenkakh (1981). Obzory po elektronnoy tekhnike. Ser. 2 Poluprovodnikovyye pribory, 8(798), 63.

4. Prints, V. (2005) Nanoobolochki i pretsizionnyye nanosistemy na osnove napryazhennykh geterostruktur: avtoref. d. ph.-math. nauk: 01.04.10/ V. Prints – Novosibirsk, 40.

5. Krivosheyeva, A. (2007) Passivnyye i aktivnyye membrany dlya ustroystv mikrosistemnoy tekhniki: avtoref. diss. kand. tech. nauk: 05.27.01. SPb, 16.

6. Mekhanicheskiye napryazheniya v tonkikh plenkakh (1982). Obzory po elektronnoy tekhnike. Ser. 2 Poluprovodnikovyye pribory, 9(799), 68.

7. Ryndya, S. (2014) Osobennosti struktury tonkikh plenok SiC formiruyemykh metodom іmpulsnogo lazernogo osazhdeniya na podlozhkakh Si i Al2O3: dis. kand. phis.-math. nauk: 01.04.07/ Moscow, 143.

8. Serdega, B. K. (2011). Modulyatsіyna polyarimetrіya. Kiev: Nauk. Dumka., 238.

9. Bendat, Dzh., Pyrsol, A. (1989). Prykladnoy analyz sluchaynykh dannykh. Moscow: Myr., 540.

10. Mykheev, M. A., Mykheeva, Y. M. (1977). Osnovy teploperedachy. Moscow: «Enerhyya», 344.

##submission.downloads##

Опубліковано

2016-06-14

Номер

Розділ

Матеріалознавство