Модуляційно-поляризаційний метод вимірювання внутрішніх механічних напружень в мікроелектронних структурах Si-Al

Анотація

В роботі описується дослідження мікроелектронного сенсора тиску, роль мембрани якого виконує кремнієва пластина з напиленими на неї алюмінієвими провідниками та тензорезистором. Показано, що в початковому стані на поверхні мембрани існує розподіл механічних напружень, який спричинений геометрією сенсора, а також є наслідком напилення алюмінієвих провідників та тензорезистора. Приведені результати теоретичних досліджень, на відмінну від існуючих ідеалізованих, дозволяють безпосередньо вимірювати та розраховувати початкові параметри механічних напружень кремнієвих структур, а не приймати їх значення за нуль, що дозволяє поліпшити, таким чином, метрологічні параметри сенсорів.