Модуляційно-поляризаційний метод вимірювання внутрішніх механічних напружень в мікроелектронних структурах Si-Al

Остап Олегович Олійник

Анотація


В роботі описується дослідження мікроелектронного сенсора тиску, роль мембрани якого виконує кремнієва пластина з напиленими на неї алюмінієвими провідниками та тензорезистором. Показано, що в початковому стані на поверхні мембрани існує розподіл механічних напружень, який спричинений геометрією сенсора, а також є наслідком напилення алюмінієвих провідників та тензорезистора. Приведені результати теоретичних досліджень, на відмінну від існуючих ідеалізованих, дозволяють безпосередньо вимірювати та розраховувати початкові параметри механічних напружень кремнієвих структур, а не приймати їх значення за нуль, що дозволяє поліпшити, таким чином, метрологічні параметри сенсорів.


Ключові слова


модуляційна поляриметрія; механічні напруження в кремнії; механічні напруження в Si-Al

Повний текст:

PDF

Посилання


1. Astashenkova, O., Korlyakov, A. (2013) Kontrol fiziko-mekhanicheskikh parametrov tonkikh plenok. Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, 2, 24–29.

2. Tamulevicius, S. (1998) Stress and strain in the vacuum deposited thin films // Vacuum, 51(2), 127-139.

3. Mekhanicheskiye napryazheniya v tonkikh plenkakh (1981). Obzory po elektronnoy tekhnike. Ser. 2 Poluprovodnikovyye pribory, 8(798), 63.

4. Prints, V. (2005) Nanoobolochki i pretsizionnyye nanosistemy na osnove napryazhennykh geterostruktur: avtoref. d. ph.-math. nauk: 01.04.10/ V. Prints – Novosibirsk, 40.

5. Krivosheyeva, A. (2007) Passivnyye i aktivnyye membrany dlya ustroystv mikrosistemnoy tekhniki: avtoref. diss. kand. tech. nauk: 05.27.01. SPb, 16.

6. Mekhanicheskiye napryazheniya v tonkikh plenkakh (1982). Obzory po elektronnoy tekhnike. Ser. 2 Poluprovodnikovyye pribory, 9(799), 68.

7. Ryndya, S. (2014) Osobennosti struktury tonkikh plenok SiC formiruyemykh metodom іmpulsnogo lazernogo osazhdeniya na podlozhkakh Si i Al2O3: dis. kand. phis.-math. nauk: 01.04.07/ Moscow, 143.

8. Serdega, B. K. (2011). Modulyatsіyna polyarimetrіya. Kiev: Nauk. Dumka., 238.

9. Bendat, Dzh., Pyrsol, A. (1989). Prykladnoy analyz sluchaynykh dannykh. Moscow: Myr., 540.

10. Mykheev, M. A., Mykheeva, Y. M. (1977). Osnovy teploperedachy. Moscow: «Enerhyya», 344.


Пристатейна бібліографія ГОСТ


1.     Асташенкова, О. Н. Контроль физико-механических параметров тонких пленок [Текст] / О. Н. Асташенкова, А. В. Корляков // Нано- и микросистемная техника. – 2013. – №2. – С. 24–29.
2.     Tamulevicius, S. Stress and strain in the vacuum deposited thin films [Text] / S. Tamulevicius // Vacuum. – 1998. – Vol. 51. № 2. – P. 127–139.
3.     Механические напряжения в тонких пленках [Текст] // Обзоры по электронной технике. Сер. 2 Полупроводниковые приборы. – Вып. 8 (798). – 1981. – 63 с.
4.     Принц, В. Я. Нанооболочки и прецизионные наносистемы на основе напряженных гетероструктур [Текст]: автореф. д. физ.-мат. наук: 01.04.10/ В. Я. Принц – Новосибирск, 2005. – 40 с.
5.     Кривошеева, А. Н. Пассивные и активные мембраны для устройств микросистемной техники [Текст]: автореф. дисс. канд.тех. наук: 05.27.01 / А. Н. Кривошеева. – СПб., 2007. –16 с.
6.     Механические напряжения в тонких плeнках [Текст] // Обзоры по электронной технике. Сер. 2 Полупроводниковые приборы. – Вып. 9 (799). – 1982. – 68 с.
7.     Рындя, С. М. Особенности структуры тонких плёнок SiC, формируемых методом імпульсного лазерного осаждения на положках Si и Al2O3 [Текст]: дис. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / С. М. Рындя. – М., 2014. – 143 с.
8.     Сердега, Б. К. Модуляційна поляриметрія [Tекст] / Б. К. Сердега // К.: Наук. Думка. – 2011. –238 c.
9.     Бендат, Дж. Прикладной анализ случайных данных [Tекст] / Дж. Бендат, А. Пирсол //  Пер. с англ /. – М.: Мир, 1989. – 540 с.
10.    Михеев, М. А. Основы теплопередачи [Текст] / М. А .Михеев, И. М. Михеева //  Изд. 2-е, стереотип. М., «Энергия», 1977. – 344 с.


Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.




Copyright (c) 2016 Остап Олегович Олійник

Creative Commons License
Ця робота ліцензована Creative Commons Attribution 4.0 International License.

ISSN 2411-2828 (Online), ISSN 2411-2798 (Print)