Особливості розподілу температури плівкового нагрівача на основі прозорої електропровідної плівки ІТО

Володимир Петрович Маслов, Петро Мар'янович Литвин, Тетяна Анатоліївна Туру, Андрій Адамович Корчовий, Наталія Володимирівна Качур, Андрій Володимирович Гурін

Анотація


Встановлено, що напилене магнетронним способом на скляний зразок віконного флоат - скла прозоре електропровідне ІТО покриття може мати топологічну структурну неоднорідність товщин, шорсткості, розміру зерен та механічних напружень, яка при нагріванні проявляється в нерівномірності температурного поля на ньому. Рекомендується у виробництві віконного скла з ІТО-покриттям проводити поляризаційний контроль механічних напружень в зразках готової продукції

Ключові слова


тонкоплівковий прозорий нагрівач; нанопокриття окис «індію – олова»; флоат-скло; ; атомно-силова мікроскопія; термографія; механічні напруження; поляризаційний оптичний контроль

Повний текст:

PDF

Посилання


1. Hripunov, G. S., Pirogov, A. V., Kudiy, D. A., Zaytsev, R. V., Hripunova, A. L., Gevorkyan, V. A., Gladyishev, P. P. (2015). Vliyanie nanorazmernoy prosloyki oksida olova na effektivnost fotoelektricheskih protsessov v plenochnyih solnechnyih elementah na osnove tellurida kadmiya. Zhurnal nano- ta elektronnoyi fiziki, T. 7, № 1, 01016-1–01016-6.

2. Kolomzarov, Yu. V., Maslov, V. P., Tolstih, Yu. G., Tsirkunov, Yu. Ya. Ridkokristalichniy displey. Patent UkraYini na korisnu model № 4517 opub. 17.01.2005, byul. № 1.

3. Granqvist, C. G., Hultaker, A. (2002). Transparent and conducting ITO films: new developments and applications. Thin Solid Films, Vol. 411, 1–5.

4. Yurchenko, G. V. (2000). Elektricheskie i opticheskie svoystva plenok ITO, poluchennyih metodom magnetronnogo raspyileniya. Voprosyi atomnoy nauki i tehniki, №5, 97–98.

5. Patrushev, V. V., Snezhko, N. Yu., Patrusheva, T. N. (2012). Sposob polucheniya prozrachnoy provodyaschey plenki insno. Patent RF #2491372 ot 27.03.2012 g.

6. Amosova, L. P., Isaev, M. V. (2014). Magnetronnoe napyilenie prozrachnyih elektrodov ITO iz metallicheskoy misheni na holodnuyu polozhku. Zhurnal tehnicheskoy fiziki, T. 84, №10, 127–132.

7. Lytvyn, P. (2014). Scanning Probe Microscopy in Practical Diagnostic: 3D Topography Imaging and Nanometrology in book Functional Nanomaterials and Devices for Electronics, Sensors and Energy Harvesting, Editors A. Nazarov, F. Balestra, V. Kilchytska, D. Flandre. Springer International Publishing, Switzerland, 179–219.

8. Venger, E. F., Maslov, V. P., Semenets, O. I., Kachur, N. V., Kuschoviy, S. M. (2013). Zastosuvannya ploskogo abo televiziynogo ekrana v stani vklyuchennya v elektrichnu merezhu zhivlennya personalnogo komp'yutera abo televizora yak dzherela polyarizovanogo vipromInyuvannya. Patent UkraYini na korisnu model № 78911 opub. 10.04.2013, byul. № 7/2013.

9. Kulkarni, A. K., Schulz, K. H., Lim, T. S., & Khan, M. (1999). Dependence of the sheet resistance of indium-tin-oxide thin films on grain size and grain orientation determined from X-ray diffraction techniques. Thin solid films,345(2), 273–277.

10. Wu, S., Zhang, Z., Zhang, Y., Zhang, K., Zhou, L., Zhang, X., & Zhu, Y. (2013). Enhanced rotation of the polarization of a light beam transmitted through a silver film with an array of perforated S-shaped holes. Physical review letters, 110(20), 207401.

11. Kolomzarov, Yu. V. Maslov, V. P. Kravchenko, S. L. Zabudskiy V. V. (2005). TeplovIzIyniy neruynIvniy metod doslidzhennya prozorih tonkoplivkovih nagrivachiv. Kosmichna nauka i tehnologiya, T.11, № 5/6, 111114.


Пристатейна бібліографія ГОСТ


1. Хрипунов, Г. С. Влияние наноразмерной прослойки оксида олова на эффективность фотоэлектрических процессов в пленочных солнечных элементах на основе теллурида кадмия [Текст] / Г. С. Хрипунов, А. В. Пирогов, Д. А. Кудий, Р. В. Зайцев, А. Л. Хрипунова, В. А. Геворкян, П. П. Гладышев // Журнал нано- та електронної фізики. – Том 7 № 1. – 2015. – С. 01016-1 – 01016-6.

2. Коломзаров, Ю. В. Рідкокристалічний дисплей [Текст] / Ю. В. Коломзаров, В. П. Маслов, Ю. Г. Толстих, Ю. Я. Циркунов // патент України на корисну модель № 4517 опуб. 17.01.2005, бюл. № 1.

3. Transparent and conducting ITO films: new developments and applications / C.G. Granqvist, A. Hultaker // Thin Solid Films. – 2002. – Vol. 411. – Р. 1–5.

4. Юрченко, Г. В. Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления [Текст] / Г. В. Юрченко // Вопросы атомной науки и техники. – 2000. – № 5. – С. 97–98.

5. Патрушев, В. В. Способ получения прозрачной проводящей пленки insno [Текст] / В. В. Патрушев, Н. Ю. Снежко, Т. Н. Патрушева // патент РФ №2491372 от 27.03.2012 г.

6. Амосова, Л. П. Магнетронное напыление прозрачных электродов ITO из металлической мишени на холодную положку [Текст] / Л. П. Амосова, М. В. Исаев // Журнал технической физики. – 2014. – Т. 84, Вып. 10 – С. 127–132.

7. Венгер, Є. Ф. Застосування плоского або телевізійного екрана в стані включення в електричну мережу живлення персонального комп'ютера або телевізора як джерела поляризованого випромінювання [Текст] / Є. Ф. Венгер, В. П. Маслов, О. І. Семенець, Н. В. Качур, С. М. Кущовий // патент України на корисну модель №78911 опуб. 10.04.2013, бюл. № 7/2013.

8. Lytvyn, P. Scanning Probe Microscopy in Practical Diagnostic: 3D Topography Imaging and Nanometrology in book Functional Nanomaterials and Devices for Electronics, Sensors and Energy Harvesting [Теxt] / P. Lytvyn // Editors A. Nazarov, F. Balestra, V. Kilchytska, D. Flandre // Springer International Publishing, Switzerland. – 2014. – pp. 179–219.

9. Kulkarni, A. K. Dependence of the sheet resistance of indium-tin-oxide thin films on grain size and grain orientation determined from X-ray diffraction techniques [Теxt] / A. K. Kulkarni, K. H. Schulz, T. S. Lim & M. Khan // Thin solid films. –1999. – №345(2). – Р. 273–277.

10. Wu, S. Enhanced rotation of the polarization of a light beam transmitted through a silver film with an array of perforated S-shaped holes [Теxt] / S. Wu, Z. Zhang, Y. Zhang, K. Zhang, L. Zhou, X. Zhang, & Y. Zhu // Physical review letters. – 2013. – № 110(20). –  207401 рр.

11. Коломзаров, Ю. В. Тепловізійний неруйнівний метод дослідження прозорих тонкоплівкових нагрівачів [Текст] / Ю. В. Коломзаров, В. П. Маслов, С. Л. Кравченко, В. В. Забудський // Космічна наука і технологія. – 2005. – Т. 11, №5/6. – С. 111–114.



Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.




Copyright (c) 2016 Володимир Петрович Маслов, Петро Мар'янович Литвин, Тетяна Анатоліївна Туру, Андрій Адамович Корчовий, Наталія Володимирівна Качур, Андрій Володимирович Гурін

Creative Commons License
Ця робота ліцензована Creative Commons Attribution 4.0 International License.

ISSN 2411-2828 (Online), ISSN 2411-2798 (Print)