Особливості розподілу температури плівкового нагрівача на основі прозорої електропровідної плівки ІТО

Автор(и)

  • Володимир Петрович Маслов Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України, Україна https://orcid.org/0000-0001-7795-6156
  • Петро Мар'янович Литвин Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України, Україна https://orcid.org/0000-0002-0131-9860
  • Тетяна Анатоліївна Туру Национального технического университета Украины «Киевский политехнический институт», Україна
  • Андрій Адамович Корчовий Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України, Україна
  • Наталія Володимирівна Качур Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України, Україна https://orcid.org/0000-0001-6868-8452
  • Андрій Володимирович Гурін Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України, Україна

Ключові слова:

тонкоплівковий прозорий нагрівач, нанопокриття окис «індію – олова», флоат-скло, , атомно-силова мікроскопія, термографія, механічні напруження, поляризаційний оптичний контроль

Анотація

Встановлено, що напилене магнетронним способом на скляний зразок віконного флоат - скла прозоре електропровідне ІТО покриття може мати топологічну структурну неоднорідність товщин, шорсткості, розміру зерен та механічних напружень, яка при нагріванні проявляється в нерівномірності температурного поля на ньому. Рекомендується у виробництві віконного скла з ІТО-покриттям проводити поляризаційний контроль механічних напружень в зразках готової продукції

Біографії авторів

Володимир Петрович Маслов, Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України

Відділ фізико-технологічних основ сенсорного матеріалознавства, завідуючий відділом

Петро Мар'янович Литвин, Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України

Кандидат фізико-математичних наук, старший науковий співробітник

Тетяна Анатоліївна Туру, Национального технического университета Украины «Киевский политехнический институт»

Асистент кафедри наукових, аналітичних та екологічних приладів і систем

Андрій Адамович Корчовий, Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України

Кандидат фізико-математичних наук, старший науковий співробітник

Наталія Володимирівна Качур, Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України

Молодший науковий співробітник

Андрій Володимирович Гурін, Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України

Провідний інженер

Посилання

1. Hripunov, G. S., Pirogov, A. V., Kudiy, D. A., Zaytsev, R. V., Hripunova, A. L., Gevorkyan, V. A., Gladyishev, P. P. (2015). Vliyanie nanorazmernoy prosloyki oksida olova na effektivnost fotoelektricheskih protsessov v plenochnyih solnechnyih elementah na osnove tellurida kadmiya. Zhurnal nano- ta elektronnoyi fiziki, T. 7, № 1, 01016-1–01016-6.

2. Kolomzarov, Yu. V., Maslov, V. P., Tolstih, Yu. G., Tsirkunov, Yu. Ya. Ridkokristalichniy displey. Patent UkraYini na korisnu model № 4517 opub. 17.01.2005, byul. № 1.

3. Granqvist, C. G., Hultaker, A. (2002). Transparent and conducting ITO films: new developments and applications. Thin Solid Films, Vol. 411, 1–5.

4. Yurchenko, G. V. (2000). Elektricheskie i opticheskie svoystva plenok ITO, poluchennyih metodom magnetronnogo raspyileniya. Voprosyi atomnoy nauki i tehniki, №5, 97–98.

5. Patrushev, V. V., Snezhko, N. Yu., Patrusheva, T. N. (2012). Sposob polucheniya prozrachnoy provodyaschey plenki insno. Patent RF #2491372 ot 27.03.2012 g.

6. Amosova, L. P., Isaev, M. V. (2014). Magnetronnoe napyilenie prozrachnyih elektrodov ITO iz metallicheskoy misheni na holodnuyu polozhku. Zhurnal tehnicheskoy fiziki, T. 84, №10, 127–132.

7. Lytvyn, P. (2014). Scanning Probe Microscopy in Practical Diagnostic: 3D Topography Imaging and Nanometrology in book Functional Nanomaterials and Devices for Electronics, Sensors and Energy Harvesting, Editors A. Nazarov, F. Balestra, V. Kilchytska, D. Flandre. Springer International Publishing, Switzerland, 179–219.

8. Venger, E. F., Maslov, V. P., Semenets, O. I., Kachur, N. V., Kuschoviy, S. M. (2013). Zastosuvannya ploskogo abo televiziynogo ekrana v stani vklyuchennya v elektrichnu merezhu zhivlennya personalnogo komp'yutera abo televizora yak dzherela polyarizovanogo vipromInyuvannya. Patent UkraYini na korisnu model № 78911 opub. 10.04.2013, byul. № 7/2013.

9. Kulkarni, A. K., Schulz, K. H., Lim, T. S., & Khan, M. (1999). Dependence of the sheet resistance of indium-tin-oxide thin films on grain size and grain orientation determined from X-ray diffraction techniques. Thin solid films,345(2), 273–277.

10. Wu, S., Zhang, Z., Zhang, Y., Zhang, K., Zhou, L., Zhang, X., & Zhu, Y. (2013). Enhanced rotation of the polarization of a light beam transmitted through a silver film with an array of perforated S-shaped holes. Physical review letters, 110(20), 207401.

11. Kolomzarov, Yu. V. Maslov, V. P. Kravchenko, S. L. Zabudskiy V. V. (2005). TeplovIzIyniy neruynIvniy metod doslidzhennya prozorih tonkoplivkovih nagrivachiv. Kosmichna nauka i tehnologiya, T.11, № 5/6, 111114.

##submission.downloads##

Опубліковано

2016-02-12

Номер

Розділ

Матеріалознавство