Вибір матеріалу контейнера для плавки кремнію

Автор(и)

  • Р. Н. Воляр Запорізька державна інженерна академія, 69006, м. Запоріжжя, пр. Леніна, 226, Ukraine https://orcid.org/0000-0002-7299-0053

Ключові слова:

контейнер, тигель, кремній, монокристал, плавка, термодинаміка

Анотація

У роботі розглядається взаємодія матеріалів контейнеру (графіту, алунда і кварцу) з розплавом кремнію. Виконані термодинамічні розрахунки підтвердили високу реакційну здатність розплаву кремнію з усіма контейнерними матеріалами. Для організації промислового виробництва кристалів кремнію рекомендується використовувати кварцеві тиглі отримані з природного кварцу або синтетичним шляхом. 

Біографія автора

Р. Н. Воляр, Запорізька державна інженерна академія, 69006, м. Запоріжжя, пр. Леніна, 226

Доцент

Кафедра металургії кольорових металів 

Посилання

1. Chervonіj, І. F. Kucova, V. Z., Pozhuev, V. І., Shvec, Е. Ya., Nosko, O. A., Еgorov, S. G., Volyar, R. M. (2009). Napіvprovіdnikovij kremnіj: teorіya і texnologіya virobnictva : monografіya. Pіd. zag. red. І. F. Chervonogo. Vid. 2-e, dopr. і perer. Zaporіzhzhya: Vidavnictvo ZDІA, 488.

2. Gasik, M. I., Gasik, M. M. (2011). Elektrotermiya kremniya (fizikoximiya, texnologiya). Dnepropetrovsk: Nac. metalurg. akad. Ukrainy, 486.

3. Batenkov, V. A. (2002). Elektroximiya poluprovodnikov: ucheb. posobie Izd. 2-e, dopol. Barnaul: Izd-vo Alt. un-ta, 162.

4. Falkevich, E. S., Pulner, E. O., Chervonyj, I. F. i dr. (1992). Texnologiya poluprovodnikovogo kremniya. Pod red. E.S. Falkevicha. Moscow: Metallurgiya, 406.

5. Medvedev, S. A. (1970). Vvedenie v texnologiyu poluprovodnikovyx materialov: Ucheb. posobie dlya vuzov. Moscow: Vyssh. shk., 503.

6. Nashelskij, A. Ya. (1989). Proizvodstvo poluprovodnikovyx materialov: ucheb. posobie dlya podgot. rabochix i masterov na pr-ve. 2-e izd., pererb. i dop. - Moscow: Metallurgiya, 269.

7. Kritskaya, T. V., Kuzmin, P. V. (2014). Sovremennye texnologii kvarcevyx tiglej dlya metallurgii monokristallicheskogo kremniya. Metalurgіya, 1, 136-142.

8. Vlasov, O. A. (2014). Sposob naneseniya zashhitnogo pokrytiya na vnutrennyuyu poverxnost kvarcevogo tiglya : pat. 2527790 Ros. Federaciya: MPK C30B 15/10 C30B 29/06 / zayavitel i patentoobladatel Federalnoe gosudarstvennoe avtonomnoe obrazovatelnoe uchrezhdenie vysshego professionalnogo obrazovaniya Sibirskij federalnyj universitet", 25, 6.

9. Lvov, A. Yu. (1993). Vzaimodejstvie kvarcevogo stekla s rasplavom vysokochistogo kremniya: avtoreferat dissertacii na soiskanie uchenoj stepeni kand. xim. nauk: 02.00.01. N. Novgorod, 22.

10. Glazov, V. M., Zemskov, V. S. (1967). Fiziko-ximicheskie osnovy legirovaniya poluprovodnikov. AN SSSR, In-t metallurgii im. A. A. Bajkova. - Moscow: Nauka, 371.

11. Lyakishev, N. P., Bannyx, O. A., Roxlin, L. L. i dr. (1996). Diagrammy sostoyaniya dvojnyx metallicheskix sistem: sprav.: V 3-x t. Pod obshh. red. N. P. Lyakisheva. Moscow : Mashinostroenie, T1, 992.

12. Babich, V. M., Bleckan, N. I., Venger, E. F. (1997). Kislorod v monokristallax kremniya: monografiya. Kiiv: Interpres, 239.

##submission.downloads##

Опубліковано

2015-03-22

Номер

Том 11 (2015)

Розділ

Матеріалознавство

Ліцензія

Авторське право (c) 2015 Р. Н. Воляр

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.