Вибір матеріалу контейнера для плавки кремнію

Р. Н. Воляр

Анотація


У роботі розглядається взаємодія матеріалів контейнеру (графіту, алунда і кварцу) з розплавом кремнію. Виконані термодинамічні розрахунки підтвердили високу реакційну здатність розплаву кремнію з усіма контейнерними матеріалами. Для організації промислового виробництва кристалів кремнію рекомендується використовувати кварцеві тиглі отримані з природного кварцу або синтетичним шляхом. 


Ключові слова


контейнер; тигель; кремній; монокристал; плавка; термодинаміка

Повний текст:

PDF (Русский)

Посилання


1. Chervonіj, І. F. Kucova, V. Z., Pozhuev, V. І., Shvec, Е. Ya., Nosko, O. A., Еgorov, S. G., Volyar, R. M. (2009). Napіvprovіdnikovij kremnіj: teorіya і texnologіya virobnictva : monografіya. Pіd. zag. red. І. F. Chervonogo. Vid. 2-e, dopr. і perer. Zaporіzhzhya: Vidavnictvo ZDІA, 488.

2. Gasik, M. I., Gasik, M. M. (2011). Elektrotermiya kremniya (fizikoximiya, texnologiya). Dnepropetrovsk: Nac. metalurg. akad. Ukrainy, 486.

3. Batenkov, V. A. (2002). Elektroximiya poluprovodnikov: ucheb. posobie Izd. 2-e, dopol. Barnaul: Izd-vo Alt. un-ta, 162.

4. Falkevich, E. S., Pulner, E. O., Chervonyj, I. F. i dr. (1992). Texnologiya poluprovodnikovogo kremniya. Pod red. E.S. Falkevicha. Moscow: Metallurgiya, 406.

5. Medvedev, S. A. (1970). Vvedenie v texnologiyu poluprovodnikovyx materialov: Ucheb. posobie dlya vuzov. Moscow: Vyssh. shk., 503.

6. Nashelskij, A. Ya. (1989). Proizvodstvo poluprovodnikovyx materialov: ucheb. posobie dlya podgot. rabochix i masterov na pr-ve. 2-e izd., pererb. i dop. - Moscow: Metallurgiya, 269.

7. Kritskaya, T. V., Kuzmin, P. V. (2014). Sovremennye texnologii kvarcevyx tiglej dlya metallurgii monokristallicheskogo kremniya. Metalurgіya, 1, 136-142.

8. Vlasov, O. A. (2014). Sposob naneseniya zashhitnogo pokrytiya na vnutrennyuyu poverxnost kvarcevogo tiglya : pat. 2527790 Ros. Federaciya: MPK C30B 15/10 C30B 29/06 / zayavitel i patentoobladatel Federalnoe gosudarstvennoe avtonomnoe obrazovatelnoe uchrezhdenie vysshego professionalnogo obrazovaniya Sibirskij federalnyj universitet", 25, 6.

9. Lvov, A. Yu. (1993). Vzaimodejstvie kvarcevogo stekla s rasplavom vysokochistogo kremniya: avtoreferat dissertacii na soiskanie uchenoj stepeni kand. xim. nauk: 02.00.01. N. Novgorod, 22.

10. Glazov, V. M., Zemskov, V. S. (1967). Fiziko-ximicheskie osnovy legirovaniya poluprovodnikov. AN SSSR, In-t metallurgii im. A. A. Bajkova. - Moscow: Nauka, 371.

11. Lyakishev, N. P., Bannyx, O. A., Roxlin, L. L. i dr. (1996). Diagrammy sostoyaniya dvojnyx metallicheskix sistem: sprav.: V 3-x t. Pod obshh. red. N. P. Lyakisheva. Moscow : Mashinostroenie, T1, 992.

12. Babich, V. M., Bleckan, N. I., Venger, E. F. (1997). Kislorod v monokristallax kremniya: monografiya. Kiiv: Interpres, 239.


Пристатейна бібліографія ГОСТ


1. Червоній, І. Ф. Напівпровідниковий кремній: теорія і технологія виробництва : монографія [Текст] / І. Ф. Червоний, В. З. Куцова, В. І. Пожуев, Є. Я. Швець, О. А. Носко, С. Г. Єгоров, Р. М. Воляр ; під. заг. ред. І. Ф. Червоного. - Вид. 2-е, допр. і перер. - Запоріжжя: Видавництво ЗДІА, 2009. - 488 с. - Бібліогр. : с. 446-484. (547 назв.). ISBN 978-966-8462-24-5.

2. Гасик, М. И. Электротермия кремния (физикохимия, технология) [Текст] / М. И. Гасик, М. М. Гасик. - Днепропетровск : Нац. металург. акад. Украины, 2011. - 486 с. : ил. - Библиогр. : с. 436-469 (509 назв.). - Предм. указ. : с. 470-474. ISBN 978-966-2596-00-7

3. Батенков, В. А. Электрохимия полупроводников [Текст] : учеб. пособие Изд. 2-е, допол. / В. А. Батенков ; Барнаул: Изд-во Алт. ун-та, 2002, - 162 с

4. Фалькевич, Э. С.  Технология полупроводникового кремния [Текст] / Э. С. Фалькевич, Э. О. Пульнер, И. Ф. Червоный и др. ; Под ред. Э.С. Фалькевича. - М. : Металлургия, 1992. - 406 с. : ил. - Библиогр.: с. 399-407 (298 назв.).  ISBN 5-229-00740-0

5. Медведев, С. А. Введение в технологию полупроводниковых материалов [Текст] : Учеб. пособие для вузов / С. А. Медведев. - М. : Высш. шк., 1970. - 503 с. : ил. - Библиогр. в конце глав.

6. Нашельский, А. Я.  Производство полупроводниковых материалов [Текст] : учеб. пособие для подгот. рабочих и мастеров на пр-ве / А. Я. Нашельский. - 2-е изд., перерб. и доп. - М. : Металлургия, 1989. - 269 с. : ил. - Библиогр.: с. 270 (11 назв.). - ISBN 5-229-00247-6.

7. Критская, Т. В. Современные технологии кварцевых тиглей для металлургии монокристаллического кремния [Електронний ресурс] / Т. В. Критская, П. В. Кузьмин // Металургія . - 2014. - Вип. 1. - С. 136-142. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/j-pdf/Metalurg_2014_1_24.pdf.

8. Способ нанесения защитного покрытия на внутреннюю поверхность кварцевого тигля: пат. 2527790 Рос. Федерация: МПК C30B 15/10 C30B 29/06 / О. А. Власов; заявитель и патентообладатель Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования Сибирский федеральный университет" - № 2013113197/05; заявл. 25.03.2013; опубл. 10.09.2014, Бюл. № 25. – 6 с. : ил.

9. Львов, А. Ю. Взаимодействие кварцевого стекла с расплавом высокочистого кремния [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук: 02.00.01 / А. Ю. Львов. - Н. Новгород, 1993. - 22 с. : ил В надзаг.: Рос. АН, Ин-т химии высокочистых веществ. Библиогр.: с.19-20 (18 назв.), с.21-22 (5 назв.)

10. Глазов, В. М. Физико-химические основы легирования полупроводников [Текст] / В. М. Глазов, В. С. Земсков ; АН СССР, Ин-т металлургии им. А. А. Байкова. - М. : Наука, 1967. - 371 с. : ил. - Библиогр.: с. 353-364 (638 назв.). - Предм. указ.: с. 365-367.

11. Лякишев, Н. П. Диаграммы состояния двойных металлических систем [Текст] : справ.: В 3-х т. / Под общ. ред. Н.П. Лякишева. - М. : Машиностроение, Т. 1 / Н. П. Лякишев, О. А. Банных ,Л. Л. Рохлин и др. - 1996. - 992 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-217-02688-X

12. Бабич, В. М. Кислород в монокристаллах кремния [Текст]: монография / В. М. Бабич, Н. И. Блецкан, Е. Ф. Венгер. - Киiв : Iнтерпрес, 1997. - 239 с. : ил. - Библиогр.: с. 223-239 (317 назв.). - ISBN 966-501-021-2 



Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.




Copyright (c) 2015 Р. Н. Воляр

Creative Commons License
Ця робота ліцензована Creative Commons Attribution 4.0 International License.

ISSN 2411-2828 (Online), ISSN 2411-2798 (Print)